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分子泵?的工作原理?
發(fā)布時(shí)間:2024-12-18 瀏覽:  次

  ?分子泵?的工作原理基于高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子將動(dòng)量傳輸給氣體分子,使其獲得定向速度,從而被壓縮并驅(qū)向排氣口。

  分子泵主要由電動(dòng)機(jī)、轉(zhuǎn)子和定子組成,轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)葉片和定子的固定葉片兩兩間隔,形成多個(gè)壓縮單元。電動(dòng)機(jī)高速旋轉(zhuǎn)時(shí),帶動(dòng)轉(zhuǎn)子將氣體從入口抽入,并通過每個(gè)壓縮單元對氣體進(jìn)行壓縮,最終將氣體驅(qū)向排氣口,實(shí)現(xiàn)高速抽真空。?1工作過程

  ?氣體入口?:氣體通過分子泵的入口進(jìn)入泵體。

  ?動(dòng)量傳輸?:電動(dòng)機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn),轉(zhuǎn)子的葉片通過與氣體分子碰撞,將動(dòng)量傳輸給氣體分子,使其獲得定向速度。

  ?壓縮過程?:氣體在每個(gè)壓縮單元中經(jīng)過壓縮,通常經(jīng)過10到40個(gè)這樣的過程后,氣體被壓縮并驅(qū)向排氣口。

  ?排氣?:最終,氣體被排出泵體,實(shí)現(xiàn)高壓縮比的高速抽真空。

  關(guān)鍵部件和特性

  ?轉(zhuǎn)子?:高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子葉片,通過與氣體分子碰撞傳遞動(dòng)量。

  ?定子?:固定葉片,與轉(zhuǎn)子葉片間隔設(shè)置,形成壓縮單元。

  ?轉(zhuǎn)速?:分子泵轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速通常在20,000到90,000轉(zhuǎn)每分鐘之間,轉(zhuǎn)速越高,排氣速度越快。

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