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| Polycold低溫水汽捕集泵詳細(xì)介紹 |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-01-13 瀏覽： 次 |
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polycold是低溫水汽捕集泵，（waer vapor cryopump）的一個(gè)品牌，Meissner 先生發(fā)明了這個(gè)產(chǎn)品，（waer vapor cryopump）和相關(guān)的應(yīng)用，并注冊(cè)了品牌Polycold。目前該品牌是屬于 美國(guó)brooks公司，國(guó)內(nèi)用戶對(duì)這個(gè)產(chǎn)品多直接使用Polycold稱呼。-145℃水汽捕集泵 -145℃ Water vapor cryopump又稱POLYCOLD、快速循環(huán)水汽深冷泵、超低溫捕集泵。
Polycold應(yīng)用原理 在使用油擴(kuò)散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸點(diǎn)的蒸汽，但其抽除殘余氣體的能力低，時(shí)間長(zhǎng)，而且所有殘余氣體還是工件的污染源，從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。深冷泵則是解決這類問(wèn)題的上佳選擇。深冷泵的工作原理：將一個(gè)能到-120℃以下的制冷盤管，放置在真空室中或油擴(kuò)散泵的泵口，通過(guò)其表面的低溫冷凝效應(yīng)，迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時(shí)間（可縮短60-90%的抽氣時(shí)間）、獲得潔凈的真空環(huán)境（真空度可提高半個(gè)數(shù)量級(jí)，達(dá)到10-8 Torr、10-5 Pa)。
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