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極高真空技術(shù)分析和運用
發(fā)布時間:2014-09-05 瀏覽:  次

  真空浸泡后油峰有所增加的事實表明,從油蒸氣對容器所造成的污染來說,除泵正常運轉(zhuǎn)中的返流外,在系統(tǒng)沒有隔離閥的情況下,主要是系統(tǒng)在真空浸泡期間發(fā)生的。

  因為這時泵已停止工作,失去了抽氣作用,而系統(tǒng)仍處于真空,原先吸附障板冷面上的大量返流物會因升溫而解吸,幾乎是毫無阻礙地返進容器重又吸附于器壁上。

  這樣,在下一次運轉(zhuǎn)中,由于污染物的解吸很緩慢,使系統(tǒng)的清潔程度變壞,也大大延長了抽氣時間。

  此外,真空靜置期間,泵液也可能通過蒸發(fā)、爬移等途徑對容器壁造成污染??朔@一問題的方法除在系統(tǒng)中設(shè)置隔離閥外,簡便可行的方法是采用充氮保護。

  通過實驗研究,得到如下幾點結(jié)論:

  ①由機械泵和擴散泵組成的抽氣系統(tǒng)中,若不采取阱、障板等降低泵液返流措施,擴散泵和機械泵工作液的返流是限制系統(tǒng)極限壓力的主要因素之一。

 ?、诜锇簡螌尤俗中握习搴驮O(shè)計良好的液氮冷阱能有效地降低泵液返流,其捕獲效率分別大于0.9和0.99

  ③烘烤是去除表面污染和降低表面放氣的有效方法。

  250℃,8h烘烤,結(jié)合障板和阱的效果,能獲得好于3.06×10-8Pa酌真空,剩余氣體中泵液污染物檢測不到。估計泵液返流率<7×10 -12g/min.cm/。剩余氣體主要組分是H2(約占78.3%),其次是C、CO和N2。C主要來自鎢燈絲。

  ④泵液對容器的污染除泵正常運轉(zhuǎn)外,主要是系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)期間原來冷凝于阱中的大量冷凝物的解吸,以及真空靜置期間油的蒸發(fā)爬移。在容器與阱間設(shè)有隔離閥的情況下,采用充氮保護運轉(zhuǎn)方法能有效地降低上述污染過程。

 ?、菡婵战菔墙档捅砻娣艢獾暮啽惴椒?,既縮短了抽氣時間,又提高了極限真空度。

  值得提出的是:用油擴散泵抽氣系統(tǒng)完全能夠獲得既清潔、油污染又小的真空環(huán)境。

  它有賴于合理的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和正確的運轉(zhuǎn)程序兩個方面。

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